Püskürtme işlemi, hedef adı verilen bir kaynak malzemeyi buharlaştırarak yarı iletkenler, cam ve ekranlar gibi ürünlerin üzerine ince, yüksek performanslı bir film tabakası oluşturur. Hedefin bileşimi, kaplamanın özelliklerini doğrudan belirlediğinden, malzeme seçimi kritik önem taşır.
Çeşitli metaller kullanılır ve her biri belirli işlevsel avantajlar için seçilir:
Elektronik ve Ara Katmanlar için Temel Metaller
Yüksek saflıktaki bakır, olağanüstü elektrik iletkenliği nedeniyle değerlidir. Gelişmiş mikroçiplerin içindeki mikroskobik kablolamanın (ara bağlantıların) oluşturulmasında %99,9995 saflıkta bakır hedefleri şarttır; burada minimum elektrik direnci hız ve verimlilik için çok önemlidir.
Yüksek saflıkta nikel, çok yönlü bir iş gören malzemedir. Başlıca kullanım alanı, mükemmel bir yapışma tabakası ve güvenilir bir difüzyon bariyeri olup, farklı malzemelerin karışmasını önleyerek çok katmanlı cihazların yapısal bütünlüğünü ve uzun ömürlülüğünü sağlamaktır.
Tungsten (W) ve Molibden (Mo) gibi refrakter metaller, yüksek ısı direnci ve kararlılıkları nedeniyle değerlidir ve genellikle zorlu ortamlarda sağlam difüzyon bariyerleri ve temas noktaları olarak kullanılırlar.
Özel Fonksiyonel Metaller
Yüksek saflıktaki gümüş, diğer metallere kıyasla en yüksek elektriksel ve termal iletkenliğe sahiptir. Bu özelliği sayesinde, dokunmatik ekranlarda yüksek iletkenliğe sahip şeffaf elektrotların ve enerji tasarruflu pencerelerde parlak yansıtıcı, düşük emisyonlu kaplamaların kaplanması için idealdir.
Altın (Au) ve platin (Pt) gibi değerli metaller, yüksek güvenilirlik ve korozyon direnci sağlayan elektrik kontaklarında ve özel sensörlerde kullanılır.
Titanyum (Ti) ve tantal (Ta) gibi geçiş metalleri, mükemmel yapışma ve bariyer özellikleri nedeniyle çok önemlidir ve genellikle diğer malzemeler uygulanmadan önce bir alt tabaka üzerinde temel katmanı oluştururlar.
Bu çeşitli malzeme yelpazesi modern teknolojiyi mümkün kılarken, bakırın iletkenlik, nikelin güvenilirlik ve gümüşün üstün yansıtıcılık performansı kendi uygulamalarında rakipsiz kalmaktadır. Bu yüksek saflıktaki metallerin tutarlı kalitesi, yüksek performanslı ince film kaplamaların temelini oluşturmaktadır.
Yayın tarihi: 24 Kasım 2025
